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明光

木虫 (著名写手)

[求助] 请教纳米的结构密度表征的问题

我在在单晶硅上制备了非晶硅结构,其尺寸为15nm x 15nm x 5nm(长x宽x高),现打算采用相关设备测量其密度。
请问什么样设备或方法可以直接测密度呢?

有人说可以用微区拉曼,从所测晶格常数的微小变化,可以推知凸起结构的疏松程度;但是拉曼的检测深度在微米量级,如何避开基底的影响呢?

谢谢!
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liu2004m

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【答案】应助回帖

明光(金币+2, 博学EPI+1): 不行的。15nm x 15nm x 5nm的凸出部分是在硅上原位诱导产生的。 2011-06-08 15:42:05
你是在单晶硅片上再沉积非晶硅吧
那么沉积前后质量差,然后除以体积是否可行
2楼2011-06-08 09:21:41
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