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溶胶——凝胶法制备ZnO薄膜晶体管中遇到的问题，新人诚心求教…… 已有2人参与
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本人是新手，正在做ZnO薄膜晶体管，遇到一个棘手的问题，求教各路前辈…… 由于我用n++硅作为底栅极，在上面旋涂薄膜，最终测试的时候需要在硅片上留下一块没有薄膜的区域作为栅极引出。 尝试了不少办法，由于我的干燥温度为200度，故用透明胶粘上的方法不大行。 请问大家是如何露出底栅极或者是底电极的？诚心求教…… （PS：搜索了一下，发现有位前辈说做好电极后把两个电极击穿，但是这样需要多高的电压呢？会不会击穿后我整块硅片上的器件基本都废了？） |
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dearmaximus
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