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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 溅射沉积制膜入射离子
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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

[求助] 溅射沉积制膜入射离子

溅射（sputting deposition）沉积制膜的入射离子（incident particle）为等离子束（plasma）和离子束（ion beam）有什么区别？
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我思故我在
1楼 2011-05-16 03:13:16
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

lianglei(金币+5, 博学EPI+1): 解释清楚 2011-05-17 23:18:22
引用回帖:
Originally posted by lianglei at 2011-05-16 22:41:48:
可否说，等离子体是正离子和电子的集合，离子束是单一电性的粒子集合

基本准确.
实际上等离子体中还含有少量的负离子.当然,大家通常只对大量的正离子感兴趣.
至于离子束是正离子束还是负离子束,与衬底上或样品台上施加的偏压是负偏压还是正偏压有关.对于不导电的衬底一般施加的是射频偏压(负偏压).
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2011-05-17 05:49:46
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

plasma是等离子体的意思，即放电气体中含有电子、离子和各种活性粒子（电中性），但等离子体在宏观上呈电中性。
离子束（ion beam）：可以通过对衬底施加偏压等从等离子体中引出离子，很多离子的定向移动形成离子束。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-05-16 07:53:03
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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2011-05-16 00:53:03:
plasma是等离子体的意思，即放电气体中含有电子、离子和各种活性粒子（电中性），但等离子体在宏观上呈电中性。
离子束（ion beam）：可以通过对衬底施加偏压等从等离子体中引出离子，很多离子的定向移动形成离子 ...

可否说，等离子体是正离子和电子的集合，离子束是单一电性的粒子集合
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我思故我在
3楼2011-05-16 22:41:48
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