24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 460  |  回复: 3
本帖产生 1 个 博学EPI ,点击这里进行查看

lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

[求助] 溅射沉积制膜入射离子

溅射(sputting deposition)沉积制膜的入射离子(incident particle)为等离子束(plasma)和离子束(ion beam)有什么区别?

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

我思故我在
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

plasma是等离子体的意思,即放电气体中含有电子、离子和各种活性粒子(电中性),但等离子体在宏观上呈电中性。
离子束(ion beam):可以通过对衬底施加偏压等从等离子体中引出离子,很多离子的定向移动形成离子束。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-05-16 07:53:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2011-05-16 00:53:03:
plasma是等离子体的意思,即放电气体中含有电子、离子和各种活性粒子(电中性),但等离子体在宏观上呈电中性。
离子束(ion beam):可以通过对衬底施加偏压等从等离子体中引出离子,很多离子的定向移动形成离子 ...

可否说,等离子体是正离子和电子的集合,离子束是单一电性的粒子集合
我思故我在
3楼2011-05-16 22:41:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

lianglei(金币+5, 博学EPI+1): 解释清楚 2011-05-17 23:18:22
引用回帖:
Originally posted by lianglei at 2011-05-16 22:41:48:
可否说,等离子体是正离子和电子的集合,离子束是单一电性的粒子集合

基本准确.
实际上等离子体中还含有少量的负离子.当然,大家通常只对大量的正离子感兴趣.
至于离子束是正离子束还是负离子束,与衬底上或样品台上施加的偏压是负偏压还是正偏压有关.对于不导电的衬底一般施加的是射频偏压(负偏压).
没有困难创造困难也要上网。
4楼2011-05-17 05:49:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lianglei 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿郑州大学085600求调剂 +21 吃的不少 2026-04-05 24/1200 2026-04-08 16:47 by sunhuadong
[考研] 求调剂 +6 chenxrlkx 2026-04-05 8/400 2026-04-08 16:03 by screening
[考研] 求调剂 +9 月@163.com 2026-04-07 11/550 2026-04-08 14:48 by qlm5820
[考研] 一志愿西南090202求调剂 +4 在线求有学上 2026-04-07 4/200 2026-04-07 19:47 by biomichael
[考研] 334分机械专硕求调剂 +3 蛋花紫菜汤 2026-04-03 3/150 2026-04-07 14:49 by 逍遥cocoa
[考研] 0854求调剂 +9 亨氏番茄沙司 2026-04-06 10/500 2026-04-07 14:37 by shdgaomin
[考研] 319分085702安全工程求调剂 +6 rious 2026-04-05 6/300 2026-04-07 09:42 by jp9609
[考研] 338求调剂 +4 我想上岸ii 2026-04-05 4/200 2026-04-06 21:04 by 木子君1218
[考研] 070300化学学硕311分求调剂 +11 梁富贵险中求 2026-04-04 13/650 2026-04-06 07:24 by houyaoxu
[考研] 化学357分,考研调剂 +11 .Starry. 2026-04-04 12/600 2026-04-06 06:28 by houyaoxu
[考研] 求调剂到0856材料工程 +3 程9915 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:15 by 蓝云思雨
[考研] 数一英一274机械调剂 +5 星陨流霞 2026-04-04 6/300 2026-04-05 11:38 by arrow8852
[考研] 320求调剂 +3 一样圆 2026-04-04 3/150 2026-04-04 22:29 by 啵啵啵0119
[考研] 333求调剂 +12 wfh030413@ 2026-04-03 13/650 2026-04-04 21:02 by jj987
[考研] 277求调剂 +4 12A3 2026-04-02 5/250 2026-04-04 20:28 by 蓝云思雨
[考研] 280求调剂 +21 咕噜晓晓 2026-04-02 22/1100 2026-04-04 11:12 by 猪会飞
[考研] 求调剂机会 +5 意染ivy 2026-04-03 5/250 2026-04-03 15:13 by qoooooo614
[考研] 302求调剂 +9 zyx上岸! 2026-04-02 9/450 2026-04-02 23:07 by 马儿快快地跑
[考研] 372分材料与化工(085600)一志愿湖南大学求调剂 +5 蓝笺片 2026-04-02 6/300 2026-04-02 21:37 by dongzh2009
[考研] 270调剂 +7 maxjxbsk 2026-04-02 7/350 2026-04-02 09:50 by yulian1987
信息提示
请填处理意见