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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

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[求助] 溅射沉积制膜入射离子

溅射（sputting deposition）沉积制膜的入射离子（incident particle）为等离子束（plasma）和离子束（ion beam）有什么区别？

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太阳能电池的原理结构图已经有6人回复

我思故我在

1楼 2011-05-16 03:13:16

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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

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【答案】应助回帖

plasma是等离子体的意思，即放电气体中含有电子、离子和各种活性粒子（电中性），但等离子体在宏观上呈电中性。
离子束（ion beam）：可以通过对衬底施加偏压等从等离子体中引出离子，很多离子的定向移动形成离子束。

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没有困难创造困难也要上网。

2楼2011-05-16 07:53:03

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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

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引用回帖:

Originally posted by qfw_68 at 2011-05-16 00:53:03:
plasma是等离子体的意思，即放电气体中含有电子、离子和各种活性粒子（电中性），但等离子体在宏观上呈电中性。
离子束（ion beam）：可以通过对衬底施加偏压等从等离子体中引出离子，很多离子的定向移动形成离子 ...

可否说，等离子体是正离子和电子的集合，离子束是单一电性的粒子集合

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我思故我在

3楼2011-05-16 22:41:48

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