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fcswxw

铜虫 (小有名气)

[求助] 请教各位虫友关于EDS问题

EDS是得到的数据反应晶体表面的成分和含量，请问各位虫友射线能打入晶体表面大概多深？
谢谢各位
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1楼 2011-05-01 22:11:55
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meteorabob

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

fcswxw(金币+2): 2011-05-08 20:54:16
突然想起TEM的EDS用的是细聚焦的电子束，分辨率比SEM的高很多，可能在电子束打入的纵向深度上也和SEM有差别。但是我还是觉得电子束打入的纵向深度只是和能量有关，看电镜的加速电压。
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12楼2011-05-05 22:20:59
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meteorabob

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-05-03 10:22:05
fcswxw(金币+5): 2011-05-05 09:30:55
fcswxw(金币+6): 2011-06-18 21:11:32
1至5um，要看电子束的能量
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2楼2011-05-02 21:44:37
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yunyunnx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-05-03 10:22:13
fcswxw(金币+5): 2011-05-05 09:31:01
30 kW的话 1。5微米，材料不同有些差别
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3楼2011-05-03 04:26:38
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guolianshun

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by fcswxw at 2011-05-01 22:11:55:
EDS是得到的数据反应晶体表面的成分和含量，请问各位虫友射线能打入晶体表面大概多深？
谢谢各位

EDS几号元素以下不能测啊。我想测氮元素咋弄啊
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4楼2011-05-04 15:36:03
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