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fcswxw

铜虫 (小有名气)

[求助] 请教各位虫友关于EDS问题

EDS是得到的数据反应晶体表面的成分和含量,请问各位虫友射线能打入晶体表面大概多深?
谢谢各位
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meteorabob

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-05-03 10:22:05
fcswxw(金币+5): 2011-05-05 09:30:55
fcswxw(金币+6): 2011-06-18 21:11:32
1至5um,要看电子束的能量
2楼2011-05-02 21:44:37
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yunyunnx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-05-03 10:22:13
fcswxw(金币+5): 2011-05-05 09:31:01
30 kW的话 1。5微米,材料不同有些差别
3楼2011-05-03 04:26:38
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guolianshun

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by fcswxw at 2011-05-01 22:11:55:
EDS是得到的数据反应晶体表面的成分和含量,请问各位虫友射线能打入晶体表面大概多深?
谢谢各位

EDS几号元素以下不能测啊。我想测氮元素咋弄啊
4楼2011-05-04 15:36:03
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fcswxw

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by meteorabob at 2011-05-02 21:44:37:
1至5um,要看电子束的能量

这个应该是扫描电镜的EDS,TEM的EDS也是这个深度吗?谢谢
5楼2011-05-05 09:32:10
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fcswxw

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by yunyunnx at 2011-05-03 04:26:38:
30 kW的话 1。5微米,材料不同有些差别

这个应该是扫描电镜的EDS,TEM的EDS也是这个深度吗?谢谢
6楼2011-05-05 09:32:22
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pinyun

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by meteorabob at 2011-05-02 21:44:37:
1至5um,要看电子束的能量

请教下,我的EDS里面测量掺杂元素只有百分之0.5能说明掺杂成功吗??
努力可能会失败,但放弃则意味着你根本不可能成功!
7楼2011-05-05 11:10:40
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pinyun

木虫 (正式写手)

请教下各位大侠,我的EDS里面测量掺杂元素只有百分之0.5能说明掺杂成功吗??
努力可能会失败,但放弃则意味着你根本不可能成功!
8楼2011-05-05 11:11:18
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yunyunnx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by guolianshun at 2011-05-04 15:36:03:
EDS几号元素以下不能测啊。我想测氮元素咋弄啊

可以测到,看量大小了,
GaN是一定能测到的
9楼2011-05-05 11:41:09
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yunyunnx

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by pinyun at 2011-05-05 11:10:40:
请教下,我的EDS里面测量掺杂元素只有百分之0.5能说明掺杂成功吗??

不好说,
建议用XPS
10楼2011-05-05 11:43:21
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