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meteorabob

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

fcswxw(金币+2): 2011-05-08 20:53:45
引用回帖:
Originally posted by fcswxw at 2011-05-05 09:32:10:
这个应该是扫描电镜的EDS，TEM的EDS也是这个深度吗？谢谢

EDS是用电子束轰击试样，使试样的元素产生特征X射线，分析特征X射线确定含有哪些元素。我觉得分析深度看电子束打入试样多深和特征X射线能穿透试样的厚度。而X射线的穿透能力是很强的，所以主要看电子束能打入试样多深吧。TEM的试样较薄，电子束都能穿透，所以分析的元素应该是整个试样范围的，我觉得。我没有做过EDS，只是书本上学过，回答供参考。
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11楼2011-05-05 22:08:44
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meteorabob

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

fcswxw(金币+2): 2011-05-08 20:54:16
突然想起TEM的EDS用的是细聚焦的电子束，分辨率比SEM的高很多，可能在电子束打入的纵向深度上也和SEM有差别。但是我还是觉得电子束打入的纵向深度只是和能量有关，看电镜的加速电压。
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12楼2011-05-05 22:20:59
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