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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 铁电薄膜上长Pt电极
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

[交流] 铁电薄膜上长Pt电极 已有4人参与

在铁电薄膜上长Pt电极，一般怎么控制，防止薄膜被打坏？脉冲激光沉积法，
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善良
1楼 2011-04-29 15:54:15
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by Tommy8726 at 2011-05-03 09:22:00:
只要溅射功率不大，不会把膜打坏的啊。
常温溅射就行咯

恩，就是不好掌握，功率太小，时间又长，
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善良
14楼2011-05-03 09:36:53
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
csuhcb2000(金币+1): 欢迎交流 2011-04-30 09:08:11
无需控制，不加热随便长，长出来漏电的都是薄膜没做好。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-04-29 16:11:20
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lekie9876

铜虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
abooo(金币+1): 欢迎交流！ 2011-04-29 23:00:14
采用溅射工艺 控制工艺参数 减小应力 防止膜出现裂纹
LZ是不是做压电元件的？
赞一下(2人) 回复此楼
科研适合我么
3楼2011-04-29 16:19:06
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by lekie9876 at 2011-04-29 16:19:06:
采用溅射工艺 控制工艺参数 减小应力 防止膜出现裂纹
LZ是不是做压电元件的？

铁酸铋薄膜，
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善良
4楼2011-04-29 16:24:38
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