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youjinshan

新虫 (初入文坛)

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[求助] 求助！！PECVD镀膜设备的基本参数

小弟是大四的学生，毕业设计要做一个PECVD镀膜设备，想请教下PECVD镀膜机一般抽到多少真空度，电极的基本尺寸，以及电极的电压和电流一般是多少。希望各位高手给予指点，感激不尽！！！！

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1楼 2011-04-27 21:43:19

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轩cwj

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【答案】应助回帖

youjinshan(金币+5): 回答很全面 2011-05-29 14:05:57

我也是用PECVD做毕业设计的，有错请指出。真空度10-5Pa，电极距300mm左右，射频电压在750左右，电流与真空腔内压强有关。

时间总会过去的，让时间流走你的烦恼吧！

2楼2011-05-06 10:20:06

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youjinshan

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谢谢你的帮助，还想问下你有没有关于电极设计方面的资料，若有的话能共享就更好了，先多谢了！

3楼2011-05-29 14:05:05

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