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求助！！PECVD镀膜设备的基本参数
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| 小弟是大四的学生，毕业设计要做一个PECVD镀膜设备，想请教下PECVD镀膜机一般抽到多少真空度，电极的基本尺寸，以及电极的电压和电流一般是多少。希望各位高手给予指点，感激不尽！！！！ |
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