| 查看: 740 | 回复: 1 | |||
380677864木虫 (正式写手)
|
[求助]
做等离子体物理的进
|
|
我的实验课题是PECVD技术制备碳纳米管。在实验中，采用氢气、氮气混合气体的等离子体（射偏电源激发）刻蚀镀在硅基底上的镍薄膜，使镍薄膜裂解为纳米颗粒。以下是我不明白的几个问题，想向您求助。 1.在等离子体中主要存在的氢气、氮气的分子，还是氮氢自由基与氢离子、电子？他们哪个对刻蚀起主要作用？具体是怎么作用的啊？ 2.刻蚀过程是单纯的物理溅射还是离子增强的等离子体刻蚀？ 3.如何分析各种成分的刻蚀速率？能否套用氟刻蚀硅的模式，离子的质量与离子能量决定刻蚀速率？ |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有10人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有11人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
93BebMhtakh前后11位开头都是大写
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有7人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有4人回复
-
跳槽后在研项目怎么办？
已经有7人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【课件】等离子体概述及系列物理实验
已经有71人回复
- 低温等离子体的温度
已经有5人回复
- 【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看 等离子体不会聚
已经有4人回复
- 【前沿】德国在实验室制造出黑洞等离子体
已经有4人回复
- 【交流】有关等离子体的概念
已经有13人回复
- 【前沿】《新物理学杂志》：德国开发出等离子体快速消毒仪
已经有13人回复
2楼2011-04-18 23:21:20
