24小时热门版块排行榜    

查看: 649  |  回复: 1

380677864

木虫 (正式写手)

[求助] 做等离子体物理的进

我的实验课题是PECVD技术制备碳纳米管。在实验中,采用氢气、氮气混合气体的等离子体(射偏电源激发)刻蚀镀在硅基底上的镍薄膜,使镍薄膜裂解为纳米颗粒。以下是我不明白的几个问题,想向您求助。

1.在等离子体中主要存在的氢气、氮气的分子,还是氮氢自由基与氢离子、电子?他们哪个对刻蚀起主要作用?具体是怎么作用的啊?

2.刻蚀过程是单纯的物理溅射还是离子增强的等离子体刻蚀?

3.如何分析各种成分的刻蚀速率?能否套用氟刻蚀硅的模式,离子的质量与离子能量决定刻蚀速率?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

211031947

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


nono2009(金币+1): 代发奖励 2011-10-22 12:22:34
建议先看看《等离子体放电处理与材料原理》这本书,说的比较详细。
另:玩氢气的,小心些为好。
做人要低调。
2楼2011-04-18 23:21:20
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 380677864 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 中国科学院深圳先进技术研究院-光纤传感课题组招生-中国科学院大学、深圳理工大学联培 +5 YangTyu1 2026-03-26 5/250 2026-03-26 18:27 by 猫咪猫咪呀
[考研] 化学工程085602 305分求调剂 +16 RichLi_ 2026-03-25 16/800 2026-03-26 16:18 by bruceku07
[硕博家园] 北京林业大学硕导招生广告 +5 kongweilin 2026-03-26 7/350 2026-03-26 14:37 by mapenggao
[考研] 303求调剂 +6 蓝山月 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:47 by 418490947
[考研] 机械学硕总分317求调剂!!!! +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 生物技术与工程 +3 1294608413 2026-03-25 4/200 2026-03-25 18:02 by 1294608413
[考研] 086003食品工程求调剂 +6 淼淼111 2026-03-24 6/300 2026-03-25 10:29 by 3Strings
[考研] 300分,材料,求调剂,英一数二 +5 超赞的 2026-03-24 5/250 2026-03-24 21:07 by 星空星月
[考研] 306求0703调剂一志愿华中师范 +10 纸鱼ly 2026-03-21 11/550 2026-03-24 17:22 by qingfeng258
[考研] 一志愿南航材料专317分求调剂 +5 炸呀炸呀炸薯条 2026-03-23 5/250 2026-03-24 16:52 by 星空星月
[考研] 材料292调剂 +8 橘颂思美人 2026-03-23 8/400 2026-03-24 16:33 by laoshidan
[考研] 工科0856求调剂 +5 沐析汀汀 2026-03-21 5/250 2026-03-23 17:56 by 海瑟薇-
[考研] 293求调剂 +3 涛涛Wjt 2026-03-22 5/250 2026-03-22 22:21 by jiangpengfei
[考研] 一志愿华中农业071010,总分320求调剂 +5 困困困困坤坤 2026-03-20 6/300 2026-03-22 17:41 by hxsm
[考研] 生物学调剂 +5 Surekei 2026-03-21 5/250 2026-03-22 14:39 by tcx007
[考研] 材料学硕301分求调剂 +7 Liyouyumairs 2026-03-21 7/350 2026-03-21 22:31 by peike
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-20 7/350 2026-03-21 19:05 by 15709483992
[考研] 一志愿南大,0703化学,分数336,求调剂 +3 收到VS 2026-03-21 3/150 2026-03-21 18:42 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-20 7/350 2026-03-21 16:36 by barlinike
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
信息提示
请填处理意见