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380677864

木虫 (正式写手)

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[交流] 【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看等离子体不会聚

等离子体增强化学气相沉积，上下基板间的等离子体最近不如以前那么汇聚了，散布在整个真空室内，而且由于等离子体的影响，当射频功率超过300W真空计也出现异常，显示1.0E5Pa!!各位大侠都来说说是什么问题啊，不胜感激！

[ Last edited by 小木虫 on 2011-3-26 at 12:26 ]

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1楼 2011-03-24 11:09:46

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xuancaixiari

铜虫 (小有名气)

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380677864(金币+1): 2011-03-26 19:17:49

是不是射频源有问题了啊

2楼2011-03-24 21:48:22

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380677864

木虫 (正式写手)

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引用回帖:

Originally posted by xuancaixiari at 2011-03-24 21:48:22:
是不是射频源有问题了啊

看不出来有什么问题，你说怎么检测射频源的故障呢？

3楼2011-03-26 19:18:31

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lxh419

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380677864(金币+2): 2011-04-06 20:26:54

等离子体散布在整个真空室内？
估计是两极板外的部分也被击穿了（产生了等离子体），是增加功率后才出现这样的现象吗？如果不是的话，就是装置里面的绝缘性不好。
真空计出现异常？
可能是RF功率高的原因。当RF功率较高（有时，即使较低）会对电子产品产生干扰，包括电脑手机等，原因是RF的频率较高（MHz）。

4楼2011-04-06 19:45:36

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dashen

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5楼2011-04-08 09:01:35

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