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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看 等离子体不会聚
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380677864

木虫 (正式写手)

[交流] 【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看 等离子体不会聚

等离子体增强化学气相沉积，上下基板间的等离子体最近不如以前那么汇聚了，散布在整个真空室内，而且由于等离子体的影响，当射频功率超过300W真空计也出现异常，显示1.0E5Pa!!各位大侠都来说说是什么问题啊，不胜感激！


[ Last edited by 小木虫 on 2011-3-26 at 12:26 ]
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1楼 2011-03-24 11:09:46
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xuancaixiari

铜虫 (小有名气)
380677864(金币+1): 2011-03-26 19:17:49
是不是射频源有问题了啊
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2楼2011-03-24 21:48:22
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380677864

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by xuancaixiari at 2011-03-24 21:48:22:
是不是射频源有问题了啊

看不出来有什么问题，你说怎么检测射频源的故障呢？
赞一下 回复此楼
3楼2011-03-26 19:18:31
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lxh419

金虫 (正式写手)
380677864(金币+2): 2011-04-06 20:26:54
等离子体散布在整个真空室内？
估计是两极板外的部分也被击穿了（产生了等离子体），是增加功率后才出现这样的现象吗？如果不是的话，就是装置里面的绝缘性不好。
真空计出现异常？
可能是RF功率高的原因。当RF功率较高（有时，即使较低）会对电子产品产生干扰，包括电脑手机等，原因是RF的频率较高（MHz）。
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4楼2011-04-06 19:45:36
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dashen

禁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
5楼2011-04-08 09:01:35
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