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[交流]
【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看 等离子体不会聚
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等离子体增强化学气相沉积，上下基板间的等离子体最近不如以前那么汇聚了，散布在整个真空室内，而且由于等离子体的影响，当射频功率超过300W真空计也出现异常，显示1.0E5Pa!!各位大侠都来说说是什么问题啊，不胜感激！ [ Last edited by 小木虫  on 2011-3-26 at 12:26 ] |
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 等离子体方向 |
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