应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看 等离子体不会聚
51/1返回列表
查看: 1295  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

380677864

木虫 (正式写手)

[交流] 【交流】等离子体物理或者做射频源的帮我看看 等离子体不会聚

等离子体增强化学气相沉积，上下基板间的等离子体最近不如以前那么汇聚了，散布在整个真空室内，而且由于等离子体的影响，当射频功率超过300W真空计也出现异常，显示1.0E5Pa!!各位大侠都来说说是什么问题啊，不胜感激！


[ Last edited by 小木虫 on 2011-3-26 at 12:26 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

等离子体方向

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-24 11:09:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xuancaixiari

铜虫 (小有名气)
380677864(金币+1): 2011-03-26 19:17:49
是不是射频源有问题了啊
赞一下 回复此楼
2楼2011-03-24 21:48:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by xuancaixiari at 2011-03-24 21:48:22:
是不是射频源有问题了啊

看不出来有什么问题，你说怎么检测射频源的故障呢？
赞一下 回复此楼
3楼2011-03-26 19:18:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lxh419

金虫 (正式写手)
380677864(金币+2): 2011-04-06 20:26:54
等离子体散布在整个真空室内？
估计是两极板外的部分也被击穿了（产生了等离子体），是增加功率后才出现这样的现象吗？如果不是的话，就是装置里面的绝缘性不好。
真空计出现异常？
可能是RF功率高的原因。当RF功率较高（有时，即使较低）会对电子产品产生干扰，包括电脑手机等，原因是RF的频率较高（MHz）。
赞一下 回复此楼
4楼2011-04-06 19:45:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dashen

禁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
5楼2011-04-08 09:01:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 380677864 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭