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whitelu1216

金虫 (小有名气)

[求助] 光敏刻蚀后，SEM的问题

光敏聚酰亚胺在硅片上光刻蚀后，在光学显微镜（反射模式下）可以看到明显的图案，但是用扫描电子显微镜却看不到图像？确定是刻蚀上图案了，扫描在喷金前和喷金后都无法看到图案。请各位大虾帮忙解答一下，万分感谢！
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1楼 2011-04-18 13:43:46
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紫晴698

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

可以不喷金做SEM，你需用导电胶试试。跟测试老师沟通沟通一下。
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2楼2011-04-19 07:53:14
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whitelu1216

金虫 (小有名气)
不喷金的也试过了，也不行。谢谢参与。
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3楼2011-04-19 09:04:13
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