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whitelu1216

金虫 (小有名气)

[求助] 光敏刻蚀后,SEM的问题

光敏聚酰亚胺在硅片上光刻蚀后,在光学显微镜(反射模式下)可以看到明显的图案,但是用扫描电子显微镜却看不到图像?确定是刻蚀上图案了,扫描在喷金前和喷金后都无法看到图案。请各位大虾帮忙解答一下,万分感谢!
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紫晴698

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

可以不喷金做SEM,你需用导电胶试试。跟测试老师沟通沟通一下。
2楼2011-04-19 07:53:14
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whitelu1216

金虫 (小有名气)

不喷金的也试过了,也不行。谢谢参与。
3楼2011-04-19 09:04:13
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