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whitelu1216金虫 (小有名气)
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光敏刻蚀后，SEM的问题
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| 光敏聚酰亚胺在硅片上光刻蚀后，在光学显微镜（反射模式下）可以看到明显的图案，但是用扫描电子显微镜却看不到图像？确定是刻蚀上图案了，扫描在喷金前和喷金后都无法看到图案。请各位大虾帮忙解答一下，万分感谢！ |
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2楼2011-04-19 07:53:14
whitelu1216
金虫 (小有名气)
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3楼2011-04-19 09:04:13