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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 设备操作技术 » 【求助】求HD-1A型冷等离子体改性设备的操作说明
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寒韵霜飞

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求HD-1A型冷等离子体改性设备的操作说明

最近用到等离子刻蚀，学校有一台HD-1A型冷等离子体改性设备，出自常州新区世泰等离子体技术开发有限公司，不知道是自己操作原因还是仪器本身的问题，好像不太好用，特向各位虫友求助，希望各位能够提供这款仪器的使用说明及注意事项，最好有图有真相，谢谢各位了！
等离子刻蚀用什么气体比较好呢？我用空气和氮气效果不好，若是氧气是不是要很纯的呢？
还有刻蚀的时候样品该怎么放置呢，放玻璃片上可以吗？样品是不是研磨成粉末更好一点呢？因为我直接把块状的样品放进去了，刻得怎么样，看不出来！

[ Last edited by 寒韵霜飞 on 2011-4-11 at 09:28 ]
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1楼 2011-03-31 22:15:25
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adrian3222

金虫 (正式写手)
寒韵霜飞(金币+3): 这个我还真是不太懂，不研究这个，只是想用用，谢谢啊 2011-04-11 09:26:51
难道是氧气泵出现问题了？用三氟化氮试试？建议看好说明书后如果不行就联系厂家吧~~~
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4楼2011-04-10 18:48:37
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lxh419

金虫 (正式写手)
寒韵霜飞(金币+2): 说明书是有的，只是不太详细，有些东西不好控制，也不知道怎么弄。谢谢你啊 2011-04-08 07:53:41
寒韵霜飞(金币+2): 呵呵，谢谢啊，问过了，就等着再试试了 2011-04-27 09:20:58
型号和公司都知道了，直接打电话问公司要一份说明书就好了！
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2楼2011-04-06 19:20:16
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lxh419

金虫 (正式写手)
寒韵霜飞(金币+2): 恩，好主意，谢谢啊！ 2011-04-08 21:14:49
专门做等离子体的，一般都是订做的设备。
你可以说说出了什么问题，方便大家帮你分析一下。
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3楼2011-04-08 09:26:10
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