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寒韵霜飞

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】求HD-1A型冷等离子体改性设备的操作说明

最近用到等离子刻蚀,学校有一台HD-1A型冷等离子体改性设备,出自常州新区世泰等离子体技术开发有限公司,不知道是自己操作原因还是仪器本身的问题,好像不太好用,特向各位虫友求助,希望各位能够提供这款仪器的使用说明及注意事项,最好有图有真相,谢谢各位了!
等离子刻蚀用什么气体比较好呢?我用空气和氮气效果不好,若是氧气是不是要很纯的呢?
还有刻蚀的时候样品该怎么放置呢,放玻璃片上可以吗?样品是不是研磨成粉末更好一点呢?因为我直接把块状的样品放进去了,刻得怎么样,看不出来!

[ Last edited by 寒韵霜飞 on 2011-4-11 at 09:28 ]
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adrian3222

金虫 (正式写手)


寒韵霜飞(金币+3): 这个我还真是不太懂,不研究这个,只是想用用,谢谢啊 2011-04-11 09:26:51
难道是氧气泵出现问题了?用三氟化氮试试?建议看好说明书后如果不行就联系厂家吧~~~
4楼2011-04-10 18:48:37
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lxh419

金虫 (正式写手)


寒韵霜飞(金币+2): 说明书是有的,只是不太详细,有些东西不好控制,也不知道怎么弄。谢谢你啊 2011-04-08 07:53:41
寒韵霜飞(金币+2): 呵呵,谢谢啊,问过了,就等着再试试了 2011-04-27 09:20:58
型号和公司都知道了,直接打电话问公司要一份说明书就好了!
2楼2011-04-06 19:20:16
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lxh419

金虫 (正式写手)


寒韵霜飞(金币+2): 恩,好主意,谢谢啊! 2011-04-08 21:14:49
专门做等离子体的,一般都是订做的设备。
你可以说说出了什么问题,方便大家帮你分析一下。
3楼2011-04-08 09:26:10
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