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【求助】求HD-1A型冷等离子体改性设备的操作说明
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最近用到等离子刻蚀，学校有一台HD-1A型冷等离子体改性设备，出自常州新区世泰等离子体技术开发有限公司，不知道是自己操作原因还是仪器本身的问题，好像不太好用，特向各位虫友求助，希望各位能够提供这款仪器的使用说明及注意事项，最好有图有真相，谢谢各位了！ 等离子刻蚀用什么气体比较好呢？我用空气和氮气效果不好，若是氧气是不是要很纯的呢？ 还有刻蚀的时候样品该怎么放置呢，放玻璃片上可以吗？样品是不是研磨成粉末更好一点呢？因为我直接把块状的样品放进去了，刻得怎么样，看不出来！ [ Last edited by 寒韵霜飞 on 2011-4-11 at 09:28 ] |
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