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[交流]
【求助】求HD-1A型冷等离子体改性设备的操作说明
最近用到等离子刻蚀,学校有一台HD-1A型冷等离子体改性设备,出自常州新区世泰等离子体技术开发有限公司,不知道是自己操作原因还是仪器本身的问题,好像不太好用,特向各位虫友求助,希望各位能够提供这款仪器的使用说明及注意事项,最好有图有真相,谢谢各位了!
等离子刻蚀用什么气体比较好呢?我用空气和氮气效果不好,若是氧气是不是要很纯的呢?
还有刻蚀的时候样品该怎么放置呢,放玻璃片上可以吗?样品是不是研磨成粉末更好一点呢?因为我直接把块状的样品放进去了,刻得怎么样,看不出来!
[ Last edited by 寒韵霜飞 on 2011-4-11 at 09:28 ] |
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