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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 【求助】求助：如何分析薄膜样品中H元素的深度和含量？
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wendy-happy

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助：如何分析薄膜样品中H元素的深度和含量？

薄膜样品有HfO2和SiO2的单层膜或多层膜，
薄膜厚度从几百到几千纳米，
希望能通过H元素的测量看薄膜的吸水情况，
不知道用什么分析方法可以得到薄膜中H元素的深度和含量，
如果可以测量，对薄膜附着的基底有什么要求没？
各位给出出主意吧。谢谢！

[ Last edited by wendy-happy on 2011-3-26 at 20:44 ]
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1楼 2011-03-26 20:41:00
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