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【求助】求助：如何分析薄膜样品中H元素的深度和含量？
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薄膜样品有HfO2和SiO2的单层膜或多层膜， 薄膜厚度从几百到几千纳米， 希望能通过H元素的测量看薄膜的吸水情况， 不知道用什么分析方法可以得到薄膜中H元素的深度和含量， 如果可以测量，对薄膜附着的基底有什么要求没？ 各位给出出主意吧。谢谢！ [ Last edited by wendy-happy on 2011-3-26 at 20:44 ] |
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