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380677864木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】各位做射频源的都来看看是神马情况
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来看看我的PECVD是怎么了？？？ 等离子体增强化学气相沉积，上下基板间的等离子体最近不如以前那么汇聚了，散布在整个真空室内，而且由于等离子体的影响，当射频功率超过300W真空计也出现异常，显示1.0E5Pa!!各位大侠都来说说是什么问题啊，不胜感激！  [ Last edited by 380677864 on 2011-3-26 at 19:17 ] |
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