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【求助】AZO薄膜有明显的红蓝彩色条纹 已有2人参与
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| 各位大侠,本人采用溅射法制膜,在用射频溅射发制备ZnO薄膜和直流溅射发制备AZO薄膜的过程中发现,设备腔内污染严重,有明显的红蓝彩色条纹,所镀的膜也是彩色的。请问这是什么情况 |
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