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kelewangwang

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】AZO薄膜有明显的红蓝彩色条纹 已有2人参与

各位大侠,本人采用溅射法制膜,在用射频溅射发制备ZnO薄膜和直流溅射发制备AZO薄膜的过程中发现,设备腔内污染严重,有明显的红蓝彩色条纹,所镀的膜也是彩色的。请问这是什么情况
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木虫 (著名写手)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+2): 解释详尽,学习了 2011-03-24 13:37:52
彩色条文  是你腔内高温造成的 高温燃烧 再加上有油存在   这很正常,
建议抽真空时多抽一会再加热,,
还有腔内要用酒精清洗,所有放进去的工件都要去油,,
靶材能涂到的地方就没条文了,,,你最后镀膜表面也有条文是不是你镀膜结束后还在加热??
努力不一定成功,放弃一定失败
2楼2011-03-22 22:20:47
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kelewangwang

新虫 (初入文坛)

我在常温下镀膜,基盘没有回转,离靶材越近彩条密度越高,和这个有关系么
3楼2011-03-23 14:19:48
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