应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
52/1返回列表
查看: 3724  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜 已有12人参与

磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2011-03-10 12:05:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ghf4664812

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
lz单质zn靶在溅射时有没有出现氧化的问题啊，你溅射zn的时候用的rf还是dc啊，我在做zn的时候，rf40wzn靶表面出现一层明显的氧化锌
赞一下 回复此楼
17楼2014-04-15 21:11:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个问题没有现成的答案（世界上没有两片相同的树叶，也没有两台相同的溅射设备），lz必须自己做一系列试验，改变溅射参数，再测成分，从而摸索其中的规律。
赞一下(2人) 回复此楼
江湖背影
2楼2011-03-10 18:29:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
掺Al的ZnO是N型的，怎么会是P型呢？
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-03-10 22:16:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangjiangta

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-10 12:05:21:
磁控溅射制备P型ZnO薄膜时 用单质Zn靶和Al靶，通过调节溅射功率来控制Zn、Al的含量比，但是怎样确定具体的比例，比如我要达到使Al的质量分数为2%，这要怎样控制溅射功率呢？

镀膜我感觉只有工艺 没有 理论
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-03-10 22:33:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 3/150 2026-11-11 11:41 by gRND4NVAZ8VG
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 3/150 2026-11-11 11:10 by 1Nb0IVlmV6v0
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 3/150 2026-11-11 10:57 by 1Nb0IVlmV6v0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-11 10:54 by 1Nb0IVlmV6v0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 10:26 by 1Nb0IVlmV6v0
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 7/350 2026-11-11 10:24 by 1Nb0IVlmV6v0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 10:21 by 1Nb0IVlmV6v0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 13/650 2026-11-11 09:22 by Equinoxhua
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 5/250 2026-11-11 04:40 by Z7qfCsdIiD1T
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 6/300 2026-11-11 03:56 by Z7qfCsdIiD1T
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 FChKX8meu1ds 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:54 by Z7qfCsdIiD1T
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:10 by Z7qfCsdIiD1T
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 5/250 2026-11-11 00:59 by Z7qfCsdIiD1T
[考博] 申请环境，微生物方向博士 +3 浅笑09 2026-11-08 3/150 2026-11-10 12:44 by 可淡不可忘
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-09 00:14 by l48hFd8Nwae2
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭