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【求助】日本印刷15nm的化学放大型光刻胶的分子结构
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jianglina3280
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【求助】日本印刷15nm的化学放大型光刻胶的分子结构
请教:2009年日本印刷采用低分子型化合物开发出了灵敏度比原来高约100倍、线宽分辨率可达到15nm的化学放大型光刻胶
跪求:这种低分子光刻胶的分子结构吗?相关的文献也可以
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