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jianglina3280

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】日本印刷15nm的化学放大型光刻胶的分子结构

请教：2009年日本印刷采用低分子型化合物开发出了灵敏度比原来高约100倍、线宽分辨率可达到15nm的化学放大型光刻胶


跪求：这种低分子光刻胶的分子结构吗？相关的文献也可以
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1楼 2011-03-09 16:56:00
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智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

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