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yumeng2003lei

铜虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】请问哪里出具薄膜厚度均匀性检测报告

请问xdjm,我们想找一家权威机构出具薄膜厚度检测报告,请问有谁知道北京哪些单位可以出具吗?
ps:我们做的薄膜是纳米膜,主要是无机氧化物薄膜,检测主要是沉积在硅片上。
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引用回帖:
Originally posted by yumeng2003lei at 2011-03-09 15:49:17:
请问xdjm,我们想找一家权威机构出具薄膜厚度检测报告,请问有谁知道北京哪些单位可以出具吗?
ps:我们做的薄膜是纳米膜,主要是无机氧化物薄膜,检测主要是沉积在硅片上。

检测报告?意思可能要盖章之类的,有个认定?这个还真不清楚,而且还要厚度均匀性,做表面粗糙度不可以吗?
2楼2011-03-12 14:38:39
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yumeng2003lei

铜虫 (初入文坛)


引用回帖:
Originally posted by vmuch520 at 2011-03-12 14:38:39:
检测报告?意思可能要盖章之类的,有个认定?这个还真不清楚,而且还要厚度均匀性,做表面粗糙度不可以吗?

其实用椭偏仪测膜后就可以了,多打几个点就知道厚度的均匀性了,但是现在主要是找个有资质的单位,出具数据,还要加盖章。
3楼2011-03-16 09:54:14
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