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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？
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ylkitty

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！
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1楼 2011-03-03 10:02:35
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ylkitty

金虫 (正式写手)
GrasaVampiro: 你能保证硅和氢的化学计量比吗？ 2011-03-03 19:32:38
引用回帖:
Originally posted by GrasaVampiro at 2011-03-03 17:45:20:
edx很可能不行，因为低Z元素很难，中子散射可以，但显然是牛刀杀鸡

从EDX能谱图可以判断Si元素是存在的，但能不能推算出Si的原子百分比？要是能测出Si的含量，剩下的应该就是H的含量了（在这里打算采用pure SiH4进行沉积）。
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9楼2011-03-03 18:24:00
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

a-Si:H薄膜 是什么东西
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2楼2011-03-03 13:34:29
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ylkitty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜 是什么东西

就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。
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3楼2011-03-03 13:46:55
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

无机物应该也能做 元素分析。
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4楼2011-03-03 13:56:30
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