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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】微米级孔薄膜
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appleye

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】微米级孔薄膜 已有5人参与

想在薄膜上做大面积分布的微米级小孔（5微米左右），有没有什么比较高效快速的方法呢？化学\物理的方法都行啊，需要这样的薄膜做原材料，多谢了！
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1楼 2011-02-20 13:51:34
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
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yunruirui: 谢谢参与 2011-02-20 18:39:02

说的不太清楚，请问是在什么材料上做的？材料厚度？
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宁毁千座庙不坏一桩姻！
2楼2011-02-20 16:38:17
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appleye

铜虫 (小有名气)
qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:41:58
引用回帖:
Originally posted by hongliushu03 at 2011-02-20 16:38:17:
说的不太清楚，请问是在什么材料上做的？材料厚度？

透明导电氧化膜，膜厚暂无要求，实际上只是需要膜表面有这样的微孔，盲孔或通孔都可以。我不是薄膜专业的，如果你能帮我们做，大家协作也欢迎

[ Last edited by appleye on 2011-2-24 at 14:07 ]
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3楼2011-02-24 14:05:43
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
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nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-02-28 22:01:33
我也在做类似的工作，可以甩上光刻胶，然后覆盖掩模板曝光，得到你要的东西。不过此过程没那么简单啊。
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4楼2011-02-27 16:38:03
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
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nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-02-28 22:01:18
引用回帖:
Originally posted by sam3303 at 2011-02-27 16:38:03:
我也在做类似的工作，可以甩上光刻胶，然后覆盖掩模板曝光，得到你要的东西。不过此过程没那么简单啊。

楼上正解，微米级的孔已经不算小了，用光刻技术完全可以达到要求

我做的介孔材料的平均孔径是4.3nm
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宁毁千座庙不坏一桩姻！
5楼2011-02-28 15:55:09
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:42:33
我师弟做的多孔氧化铝模板的孔径是及时纳米

电化学方法做的
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宁毁千座庙不坏一桩姻！
6楼2011-02-28 15:56:03
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appleye

铜虫 (小有名气)
qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:42:45
因为是作为原材料，所以希望工艺简单，易得。光刻方法常用，但成本和工艺的确是问题，而且对孔径、质量不需要那么好的精细度，也不需要纳米级（当然，如果有，我们也愿意尝试）。化学方法可能更靠谱。

感谢虫友们的兴趣，希望可以得到大家的帮助。
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7楼2011-03-03 10:40:53
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appleye

铜虫 (小有名气)
qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-07 10:25:16
引用回帖:
Originally posted by hongliushu03 at 2011-02-28 15:56:03:
我师弟做的多孔氧化铝模板的孔径是及时纳米

电化学方法做的

氧化铝模板的孔间距是多少？可以帮我们做些氧化铝模板吗？
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8楼2011-03-07 10:05:37
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
方法很简单，在电解液中放入铝箔，通以合适的直流电即可
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9楼2011-03-07 14:25:03
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王济磊

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用水辅助法挺好的，不知是不是适合你啊！孔径在500nm-5微米之间，我是作这方面的，只是膜有缺陷啊，还没找到好的解决方法
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10楼2011-03-08 11:02:38
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