【请教】微米级孔薄膜 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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木虫 (正式写手)

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以单层的胶体晶体做模板（胶体球直径选5微米），采用电沉积或者溶胶凝胶法沉积薄膜，去除模板就可以了。

11楼2011-03-08 14:49:45

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铜虫 (小有名气)

引用回帖:

Originally posted by 王济磊 at 2011-03-08 11:02:38:
用水辅助法挺好的，不知是不是适合你啊！孔径在500nm-5微米之间，我是作这方面的，只是膜有缺陷啊，还没找到好的解决方法

好啊，孔径大小应该合适，膜厚呢？什么材料的？缺陷只要不是大面积的就可以，开始也只是初步尝试，验证一下。

12楼2011-03-09 20:54:29

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新虫 (小有名气)

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厚度自己控制，材料很多啊，PSF PS 等等，你可以查查,不过缺陷是大问题，我一直没有解决啊。

13楼2011-03-30 10:58:58

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