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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】微米级孔薄膜
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appleye

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】微米级孔薄膜 已有5人参与

想在薄膜上做大面积分布的微米级小孔（5微米左右），有没有什么比较高效快速的方法呢？化学\物理的方法都行啊，需要这样的薄膜做原材料，多谢了！
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1楼 2011-02-20 13:51:34
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appleye

铜虫 (小有名气)
qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:42:45
因为是作为原材料，所以希望工艺简单，易得。光刻方法常用，但成本和工艺的确是问题，而且对孔径、质量不需要那么好的精细度，也不需要纳米级（当然，如果有，我们也愿意尝试）。化学方法可能更靠谱。

感谢虫友们的兴趣，希望可以得到大家的帮助。
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7楼2011-03-03 10:40:53
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui: 谢谢参与 2011-02-20 18:39:02

说的不太清楚，请问是在什么材料上做的？材料厚度？
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宁毁千座庙不坏一桩姻！
2楼2011-02-20 16:38:17
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appleye

铜虫 (小有名气)
qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:41:58
引用回帖:
Originally posted by hongliushu03 at 2011-02-20 16:38:17:
说的不太清楚，请问是在什么材料上做的？材料厚度？

透明导电氧化膜，膜厚暂无要求，实际上只是需要膜表面有这样的微孔，盲孔或通孔都可以。我不是薄膜专业的，如果你能帮我们做，大家协作也欢迎

[ Last edited by appleye on 2011-2-24 at 14:07 ]
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3楼2011-02-24 14:05:43
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-02-28 22:01:33
我也在做类似的工作，可以甩上光刻胶，然后覆盖掩模板曝光，得到你要的东西。不过此过程没那么简单啊。
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4楼2011-02-27 16:38:03
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