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appleye

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】微米级孔薄膜 已有5人参与

想在薄膜上做大面积分布的微米级小孔(5微米左右),有没有什么比较高效快速的方法呢?化学\物理的方法都行啊,需要这样的薄膜做原材料,多谢了!

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appleye

铜虫 (小有名气)

qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:42:45
因为是作为原材料,所以希望工艺简单,易得。光刻方法常用,但成本和工艺的确是问题,而且对孔径、质量不需要那么好的精细度,也不需要纳米级(当然,如果有,我们也愿意尝试)。化学方法可能更靠谱。

感谢虫友们的兴趣,希望可以得到大家的帮助。
7楼2011-03-03 10:40:53
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yunruirui: 谢谢参与 2011-02-20 18:39:02

说的不太清楚,请问是在什么材料上做的?材料厚度?
宁毁千座庙不坏一桩姻!
2楼2011-02-20 16:38:17
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appleye

铜虫 (小有名气)

qianniuhua201: 鼓励交流 2011-03-03 10:41:58
引用回帖:
Originally posted by hongliushu03 at 2011-02-20 16:38:17:
说的不太清楚,请问是在什么材料上做的?材料厚度?

透明导电氧化膜,膜厚暂无要求,实际上只是需要膜表面有这样的微孔,盲孔或通孔都可以。我不是薄膜专业的,如果你能帮我们做,大家协作也欢迎

[ Last edited by appleye on 2011-2-24 at 14:07 ]
3楼2011-02-24 14:05:43
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-02-28 22:01:33
我也在做类似的工作,可以甩上光刻胶,然后覆盖掩模板曝光,得到你要的东西。不过此过程没那么简单啊。
4楼2011-02-27 16:38:03
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