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【求助】磁控溅射生长铝
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【求助】磁控溅射生长铝
在永磁靶上做铝靶的溅射的时候会有打火花的现象,主要是在靶的边缘,有时候中心也会有火花。并且溅射时出现过两种颜色的辉光,一种是蓝紫色,另一种则是粉色偏白。。。。恼火的是沉积了两个钟头铝似乎都没有长到基片上,不知道有没有虫友遇到类似的问题,希望大家能提点意见,O(∩_∩)O谢谢
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