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【求助】磁控溅射生长铝
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| 在永磁靶上做铝靶的溅射的时候会有打火花的现象，主要是在靶的边缘，有时候中心也会有火花。并且溅射时出现过两种颜色的辉光，一种是蓝紫色，另一种则是粉色偏白。。。。恼火的是沉积了两个钟头铝似乎都没有长到基片上，不知道有没有虫友遇到类似的问题，希望大家能提点意见，O(∩_∩)O谢谢 |
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