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huangrun71

铁杆木虫 (小有名气)

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虫号: 965082

[交流] 【求助/交流】离子注入P的问题

注入时，参数多少（如剂量和离子束能量）可以使表面不被非晶化，望做过相关研究的虫子说说看~~

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1楼 2010-12-14 10:06:58

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LEO_LIU

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 929036

★
dhd997(金币+1):谢谢交流 2011-01-04 12:25:37
huangrun71(金币+5): 2011-01-04 15:11:16
huangrun71(金币+2): 2011-01-06 17:11:36
huangrun71(金币+3): 2011-01-06 18:43:13

小于E14的注入肯定没问题，束流要小，但质量数再大可能要更小才行

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