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【求助/交流】离子注入P的问题
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huangrun71
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帖子: 82
在线: 869.9小时
虫号: 965082
[交流]
【求助/交流】离子注入P的问题
注入时,参数多少(如剂量和离子束能量)可以使表面不被非晶化,望做过相关研究的虫子说说看~~
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2010-12-14 10:06:58
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LEO_LIU
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★
dhd997(金币+1):谢谢交流 2011-01-04 12:25:37
huangrun71(金币+5): 2011-01-04 15:11:16
huangrun71(金币+2): 2011-01-06 17:11:36
huangrun71(金币+3): 2011-01-06 18:43:13
小于E14的注入肯定没问题,束流要小,但质量数再大可能要更小才行
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3楼
2011-01-04 11:20:12
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huangrun71
2楼
2010-12-16 09:10
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