| 查看: 2178 | 回复: 1 | |||
[交流]
【求助】深反应离子刻蚀技术与反应离子刻蚀技术的区别？
|
|
如题，深反应离子刻蚀技术指什么，其工作原理是什么 而反应离子刻蚀技术的工作原理又是什么，两者之间有什么区别？ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有190人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
祈福
+5/455
-
3,4-二(三甲基硅氧基)-1-丁烯（CAS：89543-84-0）
+1/86
-
一边期待，一边忐忑：发榜前的科研人正在想什么？
+5/85
-
威格科技：为化学合成打造全流程惰性气氛解决方案
+1/85
-
乙二醇二甲基环硅醚（CAS：57915-66-9）
+1/83
-
香港理工大学PhD/RA/PostDoc in OR/AI/OM
+1/82
-
招收本科/研究生实习生（2026年9月开始可以长期实习）
+1/82
-
别研究filecode了，祝都有一个好结果：）
+2/72
-
北京理工大学光电学院拟神经计算器件方向，2027级博士/硕士招生
+1/41
-
无机非金属材料科学相关 实习研发人员招聘
+1/32
-
哈工大（深圳）何自开团队诚招2027级化学工程与技术专业博士生
+1/26
-
求相关合成条件
+1/16
-
北理工集成电路杰青团队 | 诚招科助理
+1/14
-
澳大利亚 Murdoch University 全奖博士招生（3个名额）地质化工冶金领域
+1/9
-
澳大利亚 Murdoch University 全奖博士招生（3个名额）地质化工冶金领域
+1/9
-
有合作举办scopus会议的吗？
+1/5
-
香港理工大学殷骏课题组诚聘1 名博士后以及2 名博士生
+1/4
-
青春的承诺
+2/4
-
我需要知道比open science或者claude science更牛的科研学术论文工具
+1/4
-
请大家抽空欣赏一下我们网站的配图
+1/2
★ ★
wandaohzl(金币+2):鼓励交流 2010-11-27 08:52:42
8627lyp(金币+10):谢谢。。 2010-11-27 15:45:22
wandaohzl(金币+2):鼓励交流 2010-11-27 08:52:42
8627lyp(金币+10):谢谢。。 2010-11-27 15:45:22
|
很多情况下Deep RIE是指ICP。它的工作原理比单纯的RIE要复杂一点，注意，只是一点！那就是它把产生偏压和产生等离子体分开由两个部分控制。而RIE的偏压是气体分子电离后由等离子体产生的偏压，即自偏压。在DRIE or ICP(cryogenic and Bosch) 过程中，偏压与等离子体密度都可以独立控制而且比RIE大，在BOSCH, CRYOGENIC两工艺中前者控制不同气体开关来产生刻蚀/钝化混合过程已达到较高的深宽比，后者利用气体氦对被刻蚀材料冷却达到控制宽深比，所以可以在确保较高的宽深比的情况下实现很高的刻蚀速率。 RIE 的工作原理就是两个电极板放电来电离电极板之间的稀薄气体，而这些气体的等离子体对于被可是材料是有反应活性的，反应产物是挥发性气体。THAT'S IT! |
2楼2010-11-26 23:49:02
