| 查看: 2105 | 回复: 1 | |||
[交流]
【求助】深反应离子刻蚀技术与反应离子刻蚀技术的区别？
|
|
如题，深反应离子刻蚀技术指什么，其工作原理是什么 而反应离子刻蚀技术的工作原理又是什么，两者之间有什么区别？ |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有192人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
散金祈福
+1/598
-
双一流南京医科大学招计算机、AI、统计、生物信息等方向26年9月入学博士
+1/184
-
湖北大学食品安全研究团队诚招博士后
+1/178
-
天津大学化学系吴立朋课题组申请考核制博士招生/博后招聘
+1/80
-
上海海洋大学与中国水产科学研究院 联合培养 学术型研究生 食品科学与工程专业
+1/78
-
浙江师范大学申利国教授招聘博士后研究人员
+1/55
-
浙江师范大学申利国教授招聘博士后研究人员
+1/36
-
博士招生
+1/31
-
国家青年人才叶立群教授课题组招收2026级博士研究生
+1/29
-
重庆大学杰青团队诚招2026年博士研究生
+2/28
-
中科院深圳先进院成会明院士\唐永炳国家杰青团队招聘
+2/28
-
限广州，征女友
+2/24
-
山东大学集成电路学院招收2026年9月入学的博士研究生
+1/13
-
肿瘤免疫课题组招聘 博后
+1/10
-
海南大学！海洋与极地地质团队长期招收博士和博士后
+1/6
-
实验室研究员
+1/3
-
澳门大学 应用物理及材料工程研究院 孙国星课题组招收博士（2026/2027学年）
+1/3
-
澳科大药学院诚招2026年秋季药剂学/生物材料博士研究生
+1/3
-
诚招“先进材料与柔性电子（柔性储能或柔性天线）”方向联培博士生
+1/2
-
有没有做核磁共振系统的虫友呢
+1/1
★ ★
wandaohzl(金币+2):鼓励交流 2010-11-27 08:52:42
8627lyp(金币+10):谢谢。。 2010-11-27 15:45:22
wandaohzl(金币+2):鼓励交流 2010-11-27 08:52:42
8627lyp(金币+10):谢谢。。 2010-11-27 15:45:22
|
很多情况下Deep RIE是指ICP。它的工作原理比单纯的RIE要复杂一点，注意，只是一点！那就是它把产生偏压和产生等离子体分开由两个部分控制。而RIE的偏压是气体分子电离后由等离子体产生的偏压，即自偏压。在DRIE or ICP(cryogenic and Bosch) 过程中，偏压与等离子体密度都可以独立控制而且比RIE大，在BOSCH, CRYOGENIC两工艺中前者控制不同气体开关来产生刻蚀/钝化混合过程已达到较高的深宽比，后者利用气体氦对被刻蚀材料冷却达到控制宽深比，所以可以在确保较高的宽深比的情况下实现很高的刻蚀速率。 RIE 的工作原理就是两个电极板放电来电离电极板之间的稀薄气体，而这些气体的等离子体对于被可是材料是有反应活性的，反应产物是挥发性气体。THAT'S IT! |
2楼2010-11-26 23:49:02