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【求助】碱腐蚀做成绒面结构要选哪种晶向的单晶硅
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我想买单晶硅片做实验,要求用碱腐蚀后表面是金字塔状的。查很多文献,说是要晶向(100),不过也有少数是说要<100>。 网上看硅片规格,都是写成<100>、<111>这样的,这是表示晶向指数,但跟我要的(100)应该不是相同的吧。 想问问大家,要形成金字塔的,要种晶向呢? 用晶向指数表示或晶面指数表示,那应该选那种? 万分感谢! |
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