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【求助】碱腐蚀做成绒面结构要选哪种晶向的单晶硅
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orchid8299
金虫
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虫号: 703760
[交流]
【求助】碱腐蚀做成绒面结构要选哪种晶向的单晶硅
我想买单晶硅片做实验,要求用碱腐蚀后表面是金字塔状的。查很多文献,说是要晶向(100),不过也有少数是说要<100>。
网上看硅片规格,都是写成<100>、<111>这样的,这是表示晶向指数,但跟我要的(100)应该不是相同的吧。
想问问大家,要形成金字塔的,要种晶向呢?
用晶向指数表示或晶面指数表示,那应该选那种?
万分感谢!
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2010-11-24 08:49:08
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andyzhao5858
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orchid8299(金币+2): 2010-11-24 10:54:03
立方体结构,100面和100晶向相同吧
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2楼
2010-11-24 09:54:13
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ange8962559
金虫
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orchid8299(金币+2): 2010-11-24 10:54:32
一样的,标注不规范,常规的就是这两种型号
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3楼
2010-11-24 09:56:30
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