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my_way

木虫 (职业作家)

[交流] 射频磁控溅射真空镀膜

射频磁控溅射真空镀MoO3膜时，真空规管灯光闪烁，不稳定，是什么原因呢？
射频功率400W，Ar气的压强1.6E-1Pa
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1楼 2010-11-19 18:01:00
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my_way

木虫 (职业作家)
引用回帖:
Originally posted by lhasa at 2010-11-20 12:59:12:
是电离规吗？  >0.1Pa应该要关电离规了吧.

是在电离阶段，不过不是那个原因。猛然发现为什么没有人知道，原来俺弄的是山寨版的，O(∩_∩)O~。
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3楼2010-11-20 21:58:23
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lhasa

新虫 (初入文坛)
★
my_way(金币+5, 博学EPI+1):好久没有人来回答，金币就给你了 2010-11-20 21:59:57
xjxlovelxl(金币+1):24小时内积极回帖奖励！ 2010-11-20 22:18:37
是电离规吗？  >0.1Pa应该要关电离规了吧.
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2楼2010-11-20 12:59:12
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by my_way at 2010-11-19 18:01:00:
射频磁控溅射真空镀MoO3膜时，真空规管灯光闪烁，不稳定，是什么原因呢？
射频功率400W，Ar气的压强1.6E-1Pa

气体流量多大  稳定不    不稳定很容易离化不稳定  


要不加大流量  
还有可能是工作环境不干净
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4楼2011-01-06 10:14:25
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