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miraclebelie

金虫 (正式写手)


[交流] 【求助】请问四探针仪测得的电阻包括探针和薄膜的接触电阻吗?

用四探针仪测薄膜电阻,请问这样测得的值只是薄膜的电阻,还是薄膜电阻+探针与薄膜的接触电阻?

非常感谢
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忘梦

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by miraclebelie at 2010-11-17 09:12:41
谢谢斑斑的解答,但如果薄膜导电性相当好,此时还能忽略吗

你好,请问你搞清楚了吗
4楼2017-11-22 02:06:10
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miraclebelie

金虫 (正式写手)


谢谢斑斑的解答,但如果薄膜导电性相当好,此时还能忽略吗
2楼2010-11-17 09:12:41
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wudong863

金虫 (小有名气)


miraclebelie(金币+3):THX 2010-11-19 03:34:32
看你是不是要算电阻率的了。
有专门的公式考虑接触电阻的。如果你薄膜导电性特别好,那你探针的导电性也特别好,当然可以忽略拉。
接触电阻主要是针对金属与半导体接触
3楼2010-11-17 09:57:04
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