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miraclebelie

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[交流] 【求助】请问四探针仪测得的电阻包括探针和薄膜的接触电阻吗？

用四探针仪测薄膜电阻，请问这样测得的值只是薄膜的电阻，还是薄膜电阻+探针与薄膜的接触电阻？

非常感谢

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1楼2010-11-17 04:08:59

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miraclebelie

金虫 (正式写手)

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谢谢斑斑的解答，但如果薄膜导电性相当好，此时还能忽略吗

2楼2010-11-17 09:12:41

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wudong863

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miraclebelie(金币+3):THX 2010-11-19 03:34:32

看你是不是要算电阻率的了。
有专门的公式考虑接触电阻的。如果你薄膜导电性特别好，那你探针的导电性也特别好，当然可以忽略拉。
接触电阻主要是针对金属与半导体接触

3楼2010-11-17 09:57:04

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忘梦

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引用回帖:

2楼: Originally posted by miraclebelie at 2010-11-17 09:12:41
谢谢斑斑的解答，但如果薄膜导电性相当好，此时还能忽略吗

你好，请问你搞清楚了吗

4楼2017-11-22 02:06:10

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