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【请教】微晶/非晶硅的Raman测试问题
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小弟最近在做微晶硅薄膜，想通过Raman谱大致看一下孵化层（也就是非晶部分）的厚度。从文献中看到的测试方法是让激光从玻璃衬底一面扫描，但是做过几次都测不出信号，不知道问题出在哪里。 想请高人做个解答，如何聚焦？聚焦在哪个位置？对衬底有没有什么要求。。。。等等 小弟先谢过了！ 本文来自: 小木虫论坛 http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2597276&fpage=1 |
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