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【求助】微晶/非晶硅的Raman测试问题
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【求助】微晶/非晶硅的Raman测试问题
小弟最近在做微晶硅薄膜,想通过Raman谱大致看一下孵化层(也就是非晶部分)的厚度。从文献中看到的测试方法是让激光从玻璃衬底一面扫描,但是做过几次都测不出信号,不知道问题出在哪里。
想请高人做个解答,如何聚焦?聚焦在哪个位置?对衬底有没有什么要求。。。。等等
小弟先谢过了!
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2010-11-15 18:20:54
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