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gloria_grx新虫 (初入文坛)
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请问一下fluorocarbon-containing plasma的意思？
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| 请问一下大家，fluorocarbon-containing plasma的意思到底是含氟碳化合物等离子体，还是氟碳化合物涂层等离子的意思呢？谢谢~ |
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古可ぷ
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3楼2010-11-07 12:08:45
cfm877
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2楼2010-11-07 11:55:25
gloria_grx(金币+1): 2010-11-13 09:17:35
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陈乐乐 朱亮 徐昕睿 李东霞 蔡辉 包大勇 Role of CF_2 in the etching of SiO_2,Si_3N_4 and Si in fluorocarbon plasma 《半导体学报》 2009年03期 关键词：CF;SiO etching;fluorocarbon film 略览了该文摘要，fluorocarbon-containing plasma意为“含氟碳化合物的膜”。 https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-BDTX200903008.htm |
4楼2010-11-07 14:35:46
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