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gloria_grx

新虫 (初入文坛)

[交流] 请问一下fluorocarbon-containing plasma的意思?

请问一下大家,fluorocarbon-containing plasma的意思到底是含氟碳化合物等离子体,还是氟碳化合物涂层等离子的意思呢?谢谢~

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cfm877

铁杆木虫 (知名作家)

从字面上看感觉是前者
此号已送人,非梧桐本人
2楼2010-11-07 11:55:25
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古可ぷ

荣誉版主 (文坛精英)

优秀区长优秀版主优秀版主

gloria_grx(金币+1, 翻译EPI+1): 2010-11-13 09:17:30
plasma是膜类的意思
so氟碳化合物涂层或者涂膜
非吾小天下,才高而已;非吾纵古今,时赋而已;非吾睨九州,宏观而已;三非焉罪?无梦至胜
3楼2010-11-07 12:08:45
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wust67

金虫 (著名写手)

gloria_grx(金币+1): 2010-11-13 09:17:35
陈乐乐  朱亮  徐昕睿  李东霞  蔡辉  包大勇  Role of CF_2 in the etching of SiO_2,Si_3N_4 and Si in fluorocarbon plasma 《半导体学报》 2009年03期
关键词:CF;SiO etching;fluorocarbon film
略览了该文摘要,fluorocarbon-containing plasma意为“含氟碳化合物的膜”。
https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-BDTX200903008.htm
4楼2010-11-07 14:35:46
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