| 查看: 577 | 回复: 3 | |||
| 本帖产生 1 个 翻译EPI ,点击这里进行查看 | |||
gloria_grx新虫 (初入文坛)
|
[交流]
请问一下fluorocarbon-containing plasma的意思?
|
||
| 请问一下大家,fluorocarbon-containing plasma的意思到底是含氟碳化合物等离子体,还是氟碳化合物涂层等离子的意思呢?谢谢~ |
» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有5人回复
售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有7人回复
上海工程技术大学 激光智能制造课题组 2027级博士研究生招生
已经有6人回复
课题组招2027级博士 上海工程技术大学 激光智能制造方向
已经有6人回复
现代”学阀”该如何界定
已经有14人回复
求合成方法
已经有8人回复
师弟论文见刊大半年才想起来申请专利,还能抢救一下吗?
已经有4人回复
有机合成以后会不会被AI改变?做科研的虫友怎么看
已经有8人回复
我的奶奶
已经有3人回复
cfm877
铁杆木虫 (知名作家)
- 翻译EPI: 31
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 5903.8
- 散金: 3751
- 红花: 26
- 沙发: 357
- 帖子: 6677
- 在线: 976.9小时
- 虫号: 466781
- 注册: 2007-11-24
- 性别: GG
- 专业: 环境微生物学

2楼2010-11-07 11:55:25
古可ぷ
荣誉版主 (文坛精英)
- 翻译EPI: 323
- 应助: 91 (初中生)
- 贵宾: 16.835
- 金币: 19134.1
- 散金: 40372
- 红花: 275
- 沙发: 183
- 帖子: 25427
- 在线: 1083.6小时
- 虫号: 1034379
- 注册: 2010-06-02
- 性别: GG
- 专业: 药物设计与药物信息
- 管辖: 导师招生

3楼2010-11-07 12:08:45
gloria_grx(金币+1): 2010-11-13 09:17:35
|
陈乐乐 朱亮 徐昕睿 李东霞 蔡辉 包大勇 Role of CF_2 in the etching of SiO_2,Si_3N_4 and Si in fluorocarbon plasma 《半导体学报》 2009年03期 关键词:CF;SiO etching;fluorocarbon film 略览了该文摘要,fluorocarbon-containing plasma意为“含氟碳化合物的膜”。 https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-BDTX200903008.htm |
4楼2010-11-07 14:35:46










回复此楼