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apolloljy银虫 (小有名气)
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【请教】PI表面改性 已有3人参与
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| 我采用PI-5来作为绝缘层，涂胶后按照固化程序固化并在此基础上做光刻胶图形，溅金后拿去剥离，发现金层全部脱落了。此前做过这样的工艺，但是采用的溅射是20nmTi+100nmAu，这次采用的是10nmCr+100nmAu，是否是10nm的铬不能很好粘合Au和PI层，我应该采用更厚的铬层？还是或者有什么方法使得PI表面改性，使其附着力和表面粗糙度都增大？ |
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2楼2010-10-22 21:35:35
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