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yuh1984木虫 (著名写手)
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【求助】In2O3靶材或者ITO靶材烧结温度
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| 请教In2O3靶材或者ITO靶材的烧结温度，以及压制靶材和烧结靶材有没有需要注意的东西 |
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yuh1984(金币+10):太详细了，很感谢！ 2010-10-15 16:00:52
小木虫:)(金币+5):3q 2010-10-15 22:59:36
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小木虫:)(金币+5):3q 2010-10-15 22:59:36
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我没有做过IN2O3的靶材，做得是二氧化钛的靶材，因为不易成型，二氧化钛需要先加粘合剂，我们加的是3%PVA(粘合剂），压片成行会起到粘合的作用，先将二氧化钛和PVA混合碾磨，我们机器碾磨10个小时，然后在80度下烤箱中放六个小时，然后压片成型，成型后烧结，先以每分钟上升10度，上升到450度，持续半个小时，去除PVA,后上升到1400度，持续两个小时烧结. 你可以去网上搜索相关论文，肯定会有的，如果没有，烧结完后，测试XRD,通过图就可以判断烧结温度。 |
2楼2010-10-14 23:27:44
