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songna

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】硅片怎么清洗 已有1人参与

请问:要 在硅片上点样照扫描电镜图,硅片应该进行怎样的清洗呢?我查到的有用双氧水体系:首先硫酸:双氧水5:1,然后水:双氧水:氨水5:2:1,最后水:双氧水:盐酸7:2:1,每步都用超纯水冲洗。如果用这种方法清洗,那么每步需要处理多久呢??
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莫使金樽空对月
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chocolate3519

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
chemistryer(金币+1):鼓励 2010-10-13 19:03:09
第一个体系中,浓硫酸遇双氧水是要大量放热,并有大量气泡放出,所以清洗时间为,等到气泡完全放出后,温度还是很高(大于100摄氏度吧),等到温度降至室温后,取出,再进行超纯水清洗。
需要注意的是:先加入双氧水,之后加入浓硫酸(顺序切勿颠倒!);
                     废液要倒入玻璃瓶中,不要放入塑料桶内,也不要倒入下水道;
                    因为浓硫酸和双氧水均是强腐蚀性液体,使用时一定要注意安全。

其它两个体系不太了解。
2楼2010-10-13 16:24:27
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