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songna银虫 (小有名气)
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【求助】硅片怎么清洗 已有1人参与
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| 请问：要 在硅片上点样照扫描电镜图，硅片应该进行怎样的清洗呢？我查到的有用双氧水体系：首先硫酸：双氧水5:1，然后水：双氧水：氨水5:2:1，最后水：双氧水：盐酸7:2：1，每步都用超纯水冲洗。如果用这种方法清洗，那么每步需要处理多久呢？？ |
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 硅片 |
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