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darren21金虫 (正式写手)
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【讨论】ICP 和RIE的区别～ 已有1人参与
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大家可以畅所欲言 ICP:Inductive Coupled Plasma RIE: Reactive Ion Etching 从设备结构上ICP比RIE多了一个RF，其他机理上的区别大家可以继续讨论！ |
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pptang
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8楼2015-02-09 10:11:40