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【请教】晶体外延生长,和衬底不在一个正带轴
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hehe1215
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
[交流]
【请教】晶体外延生长,和衬底不在一个正带轴
请教各位,我在生长晶体材料时,发现外延的薄膜和衬底不在一个正带轴,有大概几度的偏差,有没有那位大侠遇到过这种情况,给点建议,谢谢了
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2010-09-12 15:40:18
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bobhy
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2010-09-14 08:12:22
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
引用回帖:
Originally posted by
yznian
at 2010-09-13 13:15:42:
制备方法列出来
我是做金属硅化物的,添加了一个插入层,薄膜就变成了单晶,不加插入层,就是非晶的。虽然薄膜式单晶了,但是通过HRTEM观察,和衬底不在一个正带轴,您有这方面的经验吗?敬请指导!
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3楼
2010-09-14 02:22:49
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Originally posted by
whpit
at 2010-09-14 07:49:33:
加过渡层?
是的
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6楼
2010-09-15 01:59:02
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